第一卷 第202章 技术突破,核心保密 (第2/2页)
“你刚才说第十七组参数,跑出什么结果了?”
陆渊翻开记录本,用手指指向最后两页。
“这一组的光源脉冲频率,稳定在了13.5纳米这个数值,持续了七十二小时都没有出现衰减,而且出现了一个之前从来没有出现过的现象。”
陆渊把记录本往前推了推,手指落在一组标了红圈的数据上面。
“功率转换率,比原来设计的理论峰值,高出了整整21%。”
这句话说完,蒋帆轻轻地呼出了一口气,看起来他自己也是刚刚才确认的,时间不长。
陈平放把那一页数据从头到尾看了一遍,没有说话。
21%。
不是优化,是量级的跨越。
意味着逐光一号在光刻机的实际应用场景里,能比市面上任何国产方案都更接近商业化量产的门槛。
“这套数据,是在什么条件下跑出来的?”
“光源腔体换了一批新的锡靶,配合我们自研的磁场约束模块。”陆渊回答得很快,“外部没有办法单纯靠硬件仿制来复现,核心参数是在我们自己的控制软件上调出来的。”
陈平放把记录本还给陆渊,转过身。
“好,这个结果,今天之前,有没有跟任何外部人员提过只言片语?”
陆渊愣了一下,思路往回拉了一拉。
“……有一次,上周三,我在园区食堂,旁边坐的是对外合作部的林工。”
“他问了什么?”
“就是随口问最近进展怎么样,我说在跑新的光源参数,说到了锡靶。”
就这一句。
锡靶。
在半导体圈子里,这不是什么机密名词。但放在这个时间节点,放在“芯火项目正在攻关EUV光源”这个背景下~
懂行的人,能从这一个词反推出核心技术路线。
对外合作部,对外接待。上周已经有两批访客进了中区走廊。
陈平放把这几个信息点在脑子里排了一遍,没有让它们停下来。
“林工,全名叫什么?”
陆渊说了一个名字。
陈平放把这个名字记住,转向蒋帆。
“对外合作部的权限,从今天起,不能再踏进实验室中区走廊,任何理由都不行。访客接待,全部挪到一楼展示厅。”
蒋帆立刻点头。
“还有一件事,人才培养的事情不能停。”陈平放把外套从椅背上取回来,语调放缓了一分,“蒋工,陆渊,你们两个在核心攻关的同时,各带两个年轻人进来,全程参与,让他们摸到第一手的数据。”
蒋帆有些迟疑:“现在这个节骨眼,扩大知情范围……”
“不是扩大知情范围,是培养真正懂这套系统的人。”陈平放把话截断,“芯火不是一个项目,是一条线,这条线上,不能只有你们两个人撑着。”
蒋帆沉默了几秒,没有再反驳。
陈平放走向门口,在推门之前停下来,
“今晚,找机会把林工最近一个月的通讯记录,走安全核查的流程调一下。”
这句话说完,他推开门,走出了实验室。
走廊的灯光把地面照得发白,脚步声一下一下地回响。
陈平放把手机从口袋里取出来,拨出一个号码,电话刚接通,第一句话直接压进去。
“张超,帮我查一个人,对外合作部,林工。”