第七百零四章 高手 (第1/2页)
奇梦达的12英寸晶圆厂,在城西的半导体园里。
300mm晶圆(12英寸)的面积是此前主流200mm(8英寸)晶圆的2.25倍,适配90nm及更先进的制程工艺,是目前半导体先进产能的标志。
奇梦达是全球内存厂商中率先大规模投资300mm晶圆产线的企业,目前有4座300mm厂仍在运营。
辉煌过的。
甚至可以说,现在也有骄傲的资格。
受DRAM价格持续阴跌影响,奇梦达已经开始降低产能利用率,同时在全力推进75nm向65nm、
46nm掩埋字线(BWL)技术的切换。
差不多是最後一搏。
这家06年5月才从英飞凌拆分出来的企业,06年8月上市的时候还是欧洲存储之光,短短两年,已经开始计划卖厂、求德国政府补助了,不得不让人感慨半导体行业周期的残酷。
同时也展示着一个深刻的道理:干科技,要麽谨小慎微,要麽背後有人。
两者皆无,死得极快。
次日一早,陈学兵的车进奇梦达厂门,正赶上周日轮班的工人换岗,穿着防静电服,三三两两,走路时也不大交谈,显得有点沉闷。
接待他的是厂里的运营经理。
不过陈学兵来前已经说过需要技术讲解,由於技术总监在慕尼黑总部,只能应他们的要求,安排了二位名叫事伯的资深老专冢陪回讲解:
一行人进了生产区,隔着洁净室的玻璃往里看,自动化产线安静地运行,机械臂起落,晶圆在轨道上流转,看上去倒是极为高端。
运营经理一路讲市场、讲信心、讲30nm的前沿技术研发,讲46nmBWL的美好未来,英语很好,词儿也十分熟练。
陈学兵没心思听这些套话,开口就问了一个问题:「这条线现在的开工率有多少?」
运营经理迟疑了一下:「七成左右。」
「哦?上次我来过,当时的开工率不到四成,现在反而涨了这麽多?」
(建议回看610章)
陈学兵一句反问,运营经理冷汗都下来了。
还好运营经理深谙马屁之道,脑瓜子飞速运转之下快速说道:「上次贵司和联想联合向我们下了一批订单,缓解了我们一些库存压力,这都要多亏你们。」
上次陈学兵带着投资方案来,合资共建实验室的方案虽然被联邦经济部给否了,但订单还是给了奇梦达,所以有了这一次的高规格接待。
不过,具体给了多少订单,陈学兵心里有数,他并没有给出关键的包销产能条件,就一批订单也是收着给的,而且是分批给的。
不过是表达一个友好合作的态度而已,离解决奇梦达的燃眉之急简直还有天差地别。
今天这个七成开工率,假得离谱。
陈学兵也没有接着拆穿,运营经理也不敢多说了,眼神示意韦伯讲解技术。
这个叫韦伯的老专家一开始还讲得挺认真,但过了一会,表情开始有点不对了,眼光老是瞥向队伍最後面。
韦伯也不是第一次陪人参观了。
他习惯了客人隔着玻璃礼貌地点头、拍照、说几句「impressive」之类的称赞之词,可今天,队伍尾巴上有个五六十岁的亚洲人,一进门眼神就不对。
那个亚洲人全程都没看那些气派又上镜的机械臂,专挑角落里那些测量工位和缺陷分析的屏幕看,时不时还脱离大部队,盯着生产线的某一处看半天。
韦伯有点不高兴了。
你在看什麽?
你看得懂吗?
他不禁开口提了一句:「那位是贵方的技术人员吗?我建议他应该认真听,深沟槽到埋字线的切换是我们的独特技术,平时是不会对外透露一个字的,贵方是我们重视的客人,我们才会安排讲解。」
一行人看向後面的梁孟松。
梁孟松笑了笑,走过来,慢悠悠地问了一句:「这片晶圆的binmap,能调出来吗?要最近的三十片,同一条线的,不要挑过的。」
binmap,就是晶圆上每一颗晶粒好坏的分布图。
外行看一片晶圆光不光滑,内行只需要这张图一缺陷到底是随机的,还是沿着某个方向、某道工序成系统地冒出来,全在这张图上。
韦伯愣了一下。
一进门就要这个东西的人,肯定是亲手爬坡过良率的。
他不太想给,但刚才都说了对方是重要的客人,也不好当场打自己的脸,还是调了图出来。
梁孟松盯着屏幕看了不到半分钟,手指点在晶圆边缘一圈隐隐发红的位置上:「边缘这一圈,是edgebead还是chuck的问题?你们最近换过光刻胶的批次?」
韦伯脸色彻底变了。
他没回答,反问道:「先生是做哪一行的?」
这话问出来,陈学兵笑了。
他晓得梁孟松肯定是极短时间内看出了什麽关键问题,震撼到对方了。
同行的股安团队也在暗笑。
「逻辑。」梁孟松眼神倒是极为专注,都没离开过屏幕,缓缓说道:「我做铜制程,FinFET,存储不是我的本行。」
这话很平淡,甚至有点自降身份,毕竟一个把铜制程做到击败IBM、手里攥着近五百项专利的人,介绍自己的时候明显有更多可说的。
可老头听到FinFET,更加不敢怠慢。
FinFET,目前已经是全行业都知道绕不过去,却还没有任何一家能量产的下一代结构。
现在能说自己「在做FinFET」的人,都是全球屈指可数,处於金字塔尖的研发核心人物。
而且铜互连是先进位程的一道大关,FinFET是下一道大关,如果一个人能横跨这两样,说明他绝对不是某个环节的工程师,而是能主导一整条先进位程研发的将才,段位可能远在自己之上。
逻辑和存储,单元结构是两码事,可底层功夫是相通的,缺陷密度、过程控制、设备调校、良率爬坡,这些硬桥硬马的东西,是大家都要过的坎。
「埋字线的金属栅,是用什麽填的?」梁孟松接着又问。
老头明显谨慎多了,憋了半天,嘴里蹦出一个词:「钨。」
梁孟松的问题立马开始连珠炮了。
「高宽比多少?填充之後切开看过截面吗,void(空洞)率多少?」
韦伯报了几个数。
梁孟松不置可否,又问到深沟槽电容的深宽比、漏电分布、刷新时间的尾bits(性能最差的那一批颗粒)。
本来陈学兵队伍是准备了德语翻译的,由於韦伯懂英语,这一步便省了,大家看着梁孟松和韦伯俩人对着一张缺陷图,用大多人听不懂的英文术语越来越快、越来越简略地交流,齐齐明白什麽叫「隔着屏幕都能闻到产线的味道」。
大部队上午就离开了厂区,梁孟松却在洁净室待了整整一天。
中午都没出来吃饭,还是让人把三明治和水送进去的。
陈学兵为此推掉了原本安排在下午的奇梦达CF0与州经济部的见面,只说要先看看厂子。
随後他接到陪同梁孟松的德语翻译的电话,说奇梦达那边有点严阵以待的意思,中午又过去两个专家,陪梁孟松一个人参观的技术人员比上午还多了一倍。
直到下午五点,才说梁孟松要出来了,陈学兵亲自到门口去接。
一群人簇拥着梁孟松出来的时候,就梁孟松一个人在说话。
「你们46nm埋字线DRAM比逻辑更难,你们现在是深沟槽,电容要往矽里面挖,越深越细,深宽比上去之後,每一道工序的窗口都窄得像刀片,埋字线方向是聪明的,把字线埋下去、换金属栅,单元能做小、电阻能下来,可你们等於在沟槽这条老路上,同时换电晶体、换字线、换节点,三件事一起做。」
「这齐齐一跳,需要多少钱,你们自己心里很清楚。」
「听说台湾那家合资的华亚科,你们已经在谈出售权益。」
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