第626章 难道没有国外的技术，我们就造不出EUV光刻机吗？ (第2/2页)

汪象朝凑到图纸前补充道：“我查过资料，蔡司的投影物镜用了15片高精度镜片，每片的面形误差都控制在20皮米以内。
　　
　　我们要是能把像差偏差降到0.2弧秒以下，后续工艺跟上，说不定就能赶上他们的水平。”
　　
　　几人越聊越投入，当即围着图纸和电脑忙碌了起来。
　　
　　汪象朝负责调整光路模拟参数，林南则带领几人核算镜片曲率与像差的对应关系，剩下的研发人员也连忙压下此前的负面情绪，将精力快速投入到各自的工作中。
　　
　　……
　　
　　……
　　
　　次日一早，陈延森给陶静文打去电话，借助孟远志的关系，拿到了一张庐州科大的通行证，可自由进出光电实验室。
　　
　　镜面抛光和镀膜工艺，都得在实验中不断完善，才能找到优化方向。
　　
　　光靠理论推算，是得不出结果的。
　　
　　同一时间，林南也抽调了一批擅长超精密抛光技术的研发人员，派往庐州。
　　
　　当刘峰俊等人进入庐州科大的光电实验室时，刚好看见正在更换洁净服、佩戴无尘乳胶手套和无尘口罩的陈延森。
　　
　　他不是森联资本的创始人吗？
　　
　　为什么会在实验室里？
　　
　　“刘先生，幸会！”陈延森停下手中的动作，径直朝刘峰俊走去，随即伸出右手说道。
　　
　　“陈先生，您好。”刘峰俊虽然有一肚子的疑问，但他也不好直接发问。
　　
　　他是国防科大超精密加工团队的高阶研究员，博士学历，智力不俗。
　　
　　有这样的素养，就注定他不会说出低情商的话。
　　
　　“实验室刚调试完离子束抛光机，正好你们来了，一起看看参数。”
　　
　　陈延森收回右手，指向旁边的操作屏，上面跳动着密密麻麻的数据流，随后接着说道：“你们在沪城制作的镜面粗胚我看过了，硅基材质纯度够，初始面形误差还有3纳米，得先过磁流变抛光做预处理。”
　　
　　刘峰俊瞳孔微缩，心中巨震。
　　
　　他下意识走到操作屏前，目光落在磁流变抛光的预处理参数上。
　　
　　令他顿感惊讶的是，屏幕上不仅清晰列出了不同转速下研磨液的颗粒度配比、磁场强度梯度曲线，甚至还标注了“预处理后误差需控制在500皮米内”的明确节点。
　　
　　“陈先生，您提前算过硅基材料的应力释放曲线？”
　　
　　刘峰俊忍不住地追问道。
　　
　　要知道，硅基镜面在研磨过程中会因应力积累产生微小形变，这是超精密加工领域最棘手的难题，也是国内各大高校、研究所迟迟未能突破的技术障碍。
　　
　　如今，竟在这里见到了解决方案。
　　
　　他在该领域浸淫多年，正因为他懂，才知道这组参数背后藏着多少巧思。
　　
　　陈延森微微颔首：“硅基材料的应力释放有滞后性，预处理时得留0.3%的补偿量，不然抛光后冷却会出现回弹误差，先做事，有疑问随时问我。”
　　
　　“小王，按这个参数调磁流变抛光机，先测第一块粗胚的应力分布。”
　　
　　刘峰俊转头对身后的研究员吩咐，声音里带着难掩的急切。
　　
　　陈延森没再多说，转身走向另一台设备。
　　
　　接下来的一段日子，刘峰俊跟在陈延森屁股后面打转，完全是一副学生、助手兼跟班的姿态。
　　
　　他越深入了解，越能体会到陈延森在超精密加工领域的惊人天赋。
　　
　　曾几何时，刘峰俊也是高考状元，还考进了国防科大的少年班，在同龄人中属于科研天才，但在陈延森面前，却犹如蚍蜉望青天一般。
　　
　　陈延森每天只会在庐州科大待两个小时，大部分工作由刘峰俊等人承担。
　　
　　他们先开发了子孔径拼接技术，继而引入计算全息片技术，并通过配备原子力显微镜和光学散射仪，率先把检测精度提升到了皮米级别。
　　
　　消息一出，沪城光学部的研发中心，所有人的精神瞬间为之一振。
　　
　　毕竟有了测试工具，工艺改良就有了正确的方向可循。
　　
　　另一边。
　　
　　清华、华科协会仪器研制中心和北方微电子科技，在获得最新版的磁控溅射技术后，立即开始了靶材和镀膜设备的研发工作。
　　
　　然而，首个难关就卡在了钼硅材料的纯度与微观结构的均匀性上。
　　
　　陈延森在得知后，把真空热压烧结和等离子体致密化技术结合在一起，立马就打通了靶材纯度和结构上的拥堵点。
　　
　　瓶颈一破，后续研发便如打通了任督二脉。
　　
　　照明系统的研发进度突飞猛进！